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南大光电:光刻胶验证根据验证阶段分为 PRS(光刻胶性能测试)、STR(小试)、MSTR(批量验证)及 Release(通过验证)

来源:同花顺iNews   时间:2023-05-30 21:17:48


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同花顺(300033)金融研究中心5月30日讯,有投资者向南大光电(300346)提问, 请问老师,能不能讲述一下光刻胶验证的四个阶段,目前28nm光刻胶进入哪个阶段了?

公司回答表示,"谢您的关注!通常,光刻胶验证根据验证阶段分为 PRS(光刻胶性能测试)、STR(小试)、MSTR(批量验证)及 Release(通过验证)。公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证,各款产品的验证进度不一。

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